爱德华罗茨泵基本概述：

 

　　以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的真空泵，可用于压力范围为0.01至10mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

 

　　爱德华罗茨泵功能和优势：

 

　　1、适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。

 

　　2、它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

 

　　3、泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

 

　　4、安静的无振动运行。

 

　　5、牢靠且防腐蚀。

 

　　6、先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

 

　　7、防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

 

　　8、经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降低。

 

　　9、轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

 

　　10、动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

 

　　爱德华罗茨泵应用：

 

　　半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2激光等等。